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Numerische Simulation von Halbleitern und Schaltkreisen
Teilprojekt 4.1: Effiziente numerische Simulation neuer Effekte in
integrierten Schaltungen
- A) Numerische Simulation von integrierten Schaltungen unter
Berücksichtigung von Rauschquellen
- B) Numerische Simulation von Leitbahneffekten in hochintegrierten
elektrischen Schaltungen
Teilprojekt 4.2: Modellierung und numerische Simulation in der
Hochleistungstechnologie für Halbleiter
- A) TCAD-Simulation von hochfrequenzgetriebenen
Niederdruck-Plasmaentladungen
- B) Elektrothermische Simulation leistungselektronischer Bauelemente
- C) Thermodynamische Modellierung und Simulation integrierter
Mikrostrukturen
Teilprojekt 4.3: Parallele Numerik in der Prozeßsimulation
- A) 3D-Diffusion bei nicht-planaren Rändern
- B) Gekoppelte Dioffusions- und Oxidationsprozesse in 3D
FORTWIHR-Homepage
fortwihr@in.tum.de 23.3.1999
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