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Numerische Simulation von Halbleitern und Schaltkreisen


  • Teilprojekt 4.1: Effiziente numerische Simulation neuer Effekte in integrierten Schaltungen

    • A) Numerische Simulation von integrierten Schaltungen unter Berücksichtigung von Rauschquellen

    • B) Numerische Simulation von Leitbahneffekten in hochintegrierten elektrischen Schaltungen

  • Teilprojekt 4.2: Modellierung und numerische Simulation in der Hochleistungstechnologie für Halbleiter

    • A) TCAD-Simulation von hochfrequenzgetriebenen Niederdruck-Plasmaentladungen

    • B) Elektrothermische Simulation leistungselektronischer Bauelemente

    • C) Thermodynamische Modellierung und Simulation integrierter Mikrostrukturen

  • Teilprojekt 4.3: Parallele Numerik in der Prozeßsimulation

    • A) 3D-Diffusion bei nicht-planaren Rändern

    • B) Gekoppelte Dioffusions- und Oxidationsprozesse in 3D

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fortwihr@in.tum.de 23.3.1999